Tiêu chuẩn quốc tế

Số hiệu

Standard Number

ASTM F1238-95(2003)
Năm ban hành 2003

Publication date

Tình trạng W - Hết hiệu lực

Status
Tên tiếng Anh

Title in English

Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications
Chỉ số phân loại Quốc tế (ICS)

By field

31.100 - ống điện tử
Số trang

Page

2
Giá:

Price

Liên hệ / Contact us
Phạm vi áp dụng

Scope of standard

1.1 This specification covers sputtering targets fabricated from metallic silicides (molybdenum silicide, tantalum silicide, titanium silicide, and tungsten silicide). These targets are referred to as refractory silicide targets, and are intended for use in microelectronic applications. 1.2 The values stated in SI units are regarded as standard.
Đặt mua tiêu chuẩn