Tiêu chuẩn quốc tế
|
Số hiệu
Standard Number
BS ISO 21466:2019
Năm ban hành 2019
Publication date
Tình trạng
A - Còn hiệu lực
Status |
|
Tên tiếng Anh
Title in English Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CDSEM
|
|
Chỉ số phân loại Quốc tế (ICS)
By field
37.020 - Thiết bị quang
|
|
Số trang
Page 56
Giá:
Price Liên hệ / Contact us
|