Tiêu chuẩn quốc tế
|
Số hiệu
Standard Number
DIN EN 62047-16
Năm ban hành
Publication date
Tình trạng
A - Còn hiệu lực
Status |
|
Tên tiếng Anh
Title in English Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015); German version EN 62047-16:2015
|
|
Giá:
Price Liên hệ / Contact us
|